Описание

Анализатор TXRF-310 разработан для оценки загрязненности пластин методом рентгенофлуоресцентного анализа с полным внутренним отражением.

Может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF-310 оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от ₁₁Na до ₉₂U, имеет 3-х лучевую систему рентгеновского излучения и твердотельный детектор.