Эллипсометрия это метод определения показателя преломления и коэффициентов отражения образца при помощи измерения изменения поляризации отраженного поверхностью света. Толщина пленки и оптические константы поглощающего слоя или оксидной пленки на поверхности субстрата могут быть определены с потрясающей чувствительностью.

Традиционная интерференционная спектроскопия использует свет, проходящий через отдельные оптические пути, тогда как эллипсометрия это вариант интерферометрии, который использует два колебательных компонента с одного оптического пути, обеспечивая измерение с высокой точностью и чувствительностью.

Разработанная фирмой JASCO оптическая схема с фотоэластичным модулятором обеспечивает стабильность измерений, одновременно позволяя использовать такие дополнительные преимущества, как высокоскоростное измерение и сканирование по диапазону длин волн.
Оптическая система с фотоэластичным модулятором подвергает образец облучению светом прошедшим через высокоскоростную модулирующую система (50 КГц) и измеряет изменение в поляризации одновременно регистрируя исходный (50 КГц) сигнал и вторичную гармонику (100 КГц) с помощью двухканального усилителя. Специальная запатентованная оптическая система прибора обеспечивает высокую стабильность и устраняет возможные изменения из-за колебаний температуры в помещении.

Компания JASCO разработала специальное программное обеспечение для расчета толщины пленки и оптических констант для каждого из слоев многослойного материала, базирующееся на параметрах эллипсометрических измерений (?, ?)? для данного материала. Модель многослойной пленки с вычислением оптических констант и толщины подбирается с помощью методов минимизации погрешности для измеренных величин.

Технические характеристики