Описание:

Система SUSS Gamma – полностью автоматическая, что обеспечивает гибкость, чистоту и надежность процессов нанесения фоторезиста, бензоциклобутена (BCB) или полиимидов. Система объединяет в себе высокую производительность с низкой стоимостью эксплуатации, что позволяет ее применять не только в MEMS и Advanced Packaging, но и в оптоэлектронике

Основные возможности:

• Компактная кластерная архитектура с роботом, расположенным по центру и модулями процессов, расположенными вокруг него.
• До трех наносящих/проявляющих модулей
• До трех температурных стеков, в каждом из которых до шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
• Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
• Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим изменением крепления между размерами подложек
• Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от 2 до 6 дюймов
• Параллельная потоковая функциональность даже с разными размерами подложек для оптимального использования мощностей системы
• Технология GYRSET – вращающийся купол для равномерного нанесения по высокой топографии
• Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
• Очистка края
• Нанесение резиста струйным способом и спреем для высокой равномерности распределения
• Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM